第3回 半導体工場ユーティリティ講座（オンライン）
【講師】
駒形 信幸（技術士／電気電子部門）
駒形技術士事務所 所長。
40年以上にわたり、半導体デバイス・プロセス・工場インフラ分野に携わる。
デバイス開発・設計、プロセス開発・設計、品質・信頼性、歩留まり改善、人材育成を専門とし、
企業・団体向け技術セミナー、技術支援を多数実施。
【対象】
プロセス技術、装置技術、品質・歩留まり、生産技術、設備保全など、半導体製造に関わる技術者・担当者。
【こんな方におすすめ】
クリーンルーム、超純水、真空、ガスなどの個別知識はあるものの、
工場全体としての相互関係や、歩留まり・再現性不良とのつながりが整理できていない方。
【半導体工場を支えるユーティリティ】
本講座は「半導体プロセス・デバイス技術セミナー（全6回）」の第3回として、
半導体工場を安定稼働させるためのユーティリティ技術を体系的に解説します。
クリーンルーム、超純水、真空、ガス、排気・安全などを、装置単体の要素ではなく
「工場全体を支える基盤インフラ」として整理し、
品質・歩留まり・生産性・安全性に直結する要点を、実例も交えて分かりやすく学びます。
※トラブル時の切り分けに役立つユーティリティ起因の見方を、事例を通して学びます。
開催概要
開催日：2026年1月20日（火）
時間：10:30～16:30（途中休憩・昼休憩あり／講義＋質疑 ※講義時間：約5時間）
形式：オンライン講座（Zoom）
受講料：30,000円／1名（税込）
※ 図解を用いながら、実務イメージを重視して解説します。
講座内容
以下は、本講座で扱う主なテーマの概要です。
第1章 工場ユーティリティ概要
クリーンルーム、超純水、真空、ガスなどを、装置単体ではなく
工場全体を支えるインフラとして捉える
第2章 クリーンルーム
・防塵管理の基本
・方式の違い（乱流、水平層流、垂直層流）と気流の考え方
・HEPA/ULPA、ミニエンバイロメント（FOUP、SMIF、ロードポート）
・化学汚染対策（ケミカルフィルター等）
第3章 超純水
・超純水の概念と抵抗率
・品質指標：抵抗率、微粒子、バクテリア、TOC、DO、コロイダル物質
・製造設備の基本：RO、イオン除去（CP/EDI等）、脱気、UF
第4章 真空機器・ガス
・真空ポンプの種類と用途、ドライポンプの位置づけ
・真空計の原理と適用範囲、リーク検査（Heリーク、四重極質量分析）
・ガス供給：MFC、減圧弁、各種バルブ、安全機器、除害の考え方
第5章 環境問題と安全衛生
・フロン・温室効果ガス規制、PFCs削減の考え方
・大気・水質関連法、環境基本法の責務
・有機溶剤、毒性ガス、水素、消防法危険物、労働安全衛生管理
・ハインリッヒの法則（ヒヤリハットと重大災害の関係）
受講後に得られること（到達目標）
・工場ユーティリティを工場全体の視点で説明できる
・トラブル時にユーティリティの変動を疑う観点で切り分けができる
・設備・現場・工程との議論が整理でき、再発防止や安定稼働につなげられる
お申し込みにあたってのご案内
※ 本講座は少人数制・先着順で受付します。
※ 定員に達し次第、受付を終了します。
※ 開催日が近づいた場合、早期に受付を締め切ることがあります。
よくあるご質問
Q1. 過去回を受講していなくても参加できますか？
→ はい。
本講座は1回完結型のため、過去回を受講していなくても問題ありません。
Q2. 支払い方法を教えてください。
→ 銀行振込でのお支払いとなります。
お申し込み後、振込先をメールにてご案内します。
Q３. 営業や勧誘はありますか？
→ ありません。
本フォームからの送信後、営業・勧誘目的の連絡は行いません。
Q4． 領収書は発行できますか？
→ はい。お申し込み後、必要に応じて発行いたします。
お申し込みフォーム
以下のフォームよりお申し込みください。
お申し込み後、事務局より受講方法（Zoom）および
受講料のお支払い方法（銀行振込）をご案内いたします。
※本フォームは技術セミナー申込み専用です。営業・宣伝目的の内容はご遠慮ください。
本講座は、半導体プロセス・デバイス技術セミナー（全6回）の第3回にあたります。
